國內(nèi)四氟化碳“有價無貨”時代over啦!
紐瑞德氣體訊:近幾年來,隨著我國超大規(guī)模集成電路、平板顯示器、光伏發(fā)電等產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展,電子氣體市場需求量明顯增長,電子特種氣體的國產(chǎn)化已是大勢所趨。記者在不久前召開的全國特種氣體第十四次年會上了解到,我國在國產(chǎn)化方面取得可喜進展,國內(nèi)四氟化碳“有價無貨”時代over啦!
光明化工研究設(shè)計院總工程師孫福楠介紹說金融危機暴發(fā)前,由于國內(nèi)不具備四氟化碳規(guī);a(chǎn)能力,有錢也買不到產(chǎn)品,市場經(jīng)常出現(xiàn)“有價無貨”的現(xiàn)象。但隨著國產(chǎn)高純四氟化碳的入市,現(xiàn)在“有價無貨”時代已經(jīng)結(jié)束。據(jù)佛山市華特氣體有限公司副總經(jīng)理傅鑄紅介紹,目前國內(nèi)市場每年需要高純四氟化碳約1000噸,純度達99.9995%的國產(chǎn)貨基本可滿足國內(nèi)需求。
武漢紐瑞德氣體
我國制氟技術(shù)的進步主要得益于軍工技術(shù)的支撐,中核紅華特種氣體股份有限公司、黎明化工研究院、中船重工第七一八研究所和天津核工業(yè)理化工程研究院等長期以來依托雄厚的技術(shù)力量,為我國制氟技術(shù)的進步提供了重要的技術(shù)支持。
據(jù)了解,四氟化碳是目前微電子工業(yè)中用量最大的等離子燭刻氣體,其高純氣及四氟化碳高純氣配高純氧氣的混合體。
1. 可廣泛應(yīng)用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢薄膜材料的燭刻。對于硅和二氧化硅體系,采用CF4-H2反應(yīng)離子刻蝕時,通過調(diào)節(jié)兩種氣體的比例,可以獲得45:1的選擇性,這在刻蝕多晶硅柵極上的二氧化硅薄膜時很有用。2. 在電子器件表面清洗、太陽能電池的生產(chǎn)、激光技術(shù)、氣相絕緣、低溫制冷、泄漏檢驗劑、控制宇宙火箭姿態(tài)、印刷電路生產(chǎn)中的去污劑等方面也大量使用。3. 由于化學穩(wěn)定性極強,CF4還可以用于金屬冶煉和塑料行業(yè)等。
4. 四氟化碳的溶氧性很好,因此被科學家用于超深度潛水實驗代替普通壓縮空氣。目前已在老鼠身上獲得成功,在275米到366米的深度內(nèi),小白鼠仍可安全脫險。
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