硅烷 硅烷氣體 5N高純硅烷氣
英文名稱：Sulfane
CAS號：7803-62-5
分子式：SiH4

分子量：32.12
規(guī)格：99.999%
包裝：44L、47L鋼瓶充裝，也可根據(jù)客戶需要，分裝到8L的氣瓶中

熔點(101.325kPa)： -185.0℃
沸點(101.325kPa)： -111.5℃
液體密度(-185℃)： 711kg/m3
氣體密度(0℃，100kPa)： 1.42kg/m3
相對密度(氣體，空氣=1，20℃，101.325kPa)：1.114
比容(21.1℃，101.325kPa)： 0.7518m/kg
氣液容積比(15℃，100kPa)：412L/L
臨界溫度： -3.4℃
臨界壓力：4843kPa

氣體	純度	雜志含量(ppm)	鋼瓶	閥門	備注
SiH4	99.9999%	CO2≤0.05,CO≤0.05,Ar≤0.5，C2H6≤0.15，	47L	JIS22L	10KG/瓶
		H2≤20，He≤1,O2≤0.5，N2≤0.5H2O≤0.5,CH4≤0.05	44L	DISS632	11KG/瓶

紐瑞德氣體硅烷質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)：

項目名稱	雜質(zhì)含量（ppm)
硅烷 純度指標(biāo)（%） ≥99.9999
氬氣（Ar）	≤0.05
氯硅烷（Chlorosilane)）	≤0.15
乙硅烷（Si2H6))	≤0.5
氦氣（He）	≤1
一氧化碳（CO）	≤0.05
氧氣（O2）	≤0.05
氮氣（N2）	≤1
氫氣（H2）	≤20
二氧化碳（CO2）	≤0.05
甲烷（CH4）	≤0.05
碳（C）	≤0.2
二氯二氫硅（SiH2Cl2)	≤0.5
甲基硅烷（CH3Si)	≤0.5
金屬離子（Metals)	≤0.03

   

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（二）針對想購買鋼瓶的客戶，詳情歡迎來電咨詢，優(yōu)惠多多哦！

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