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硅烷在電子工業(yè)中的應(yīng)用


硅烷在電子工業(yè)中的應(yīng)用
硅烷2

烷是硅和氫的化合物，是一系列化合物的總稱，包括甲硅烷。( SiH4) 、乙硅烷( Si2H6)
通常的類型是SinH2n+2，與一些更先進(jìn)的硅氫化合物相比。在這些硅烷中，甲硅烷是最
常見的，有時(shí)也被稱為硅烷。
硅烷在1857年被發(fā)現(xiàn)，在未來100年左右的工業(yè)生產(chǎn)中幾乎沒有用處。直到20世紀(jì)50年
代，半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展才開始應(yīng)用于電子工業(yè)生產(chǎn)。20世紀(jì)80年代，隨著半導(dǎo)體工業(yè)的
快速發(fā)展，硅烷的消耗迅速增加。1984年，國際硅烷市場(chǎng)銷售額為70t，1986年增至110t，
年增長12%～15%的速度增長。1990年全球硅烷銷量為240t。硅烷在我國的應(yīng)用起步較
晚，目前年消耗量約為幾十噸。
隨著一系列新技術(shù)和新產(chǎn)品的發(fā)展和應(yīng)用，硅烷已經(jīng)成為信息、新材料、能源和環(huán)境科學(xué)
的基本原材料，是未來許多行業(yè)不可或缺的。它在現(xiàn)代科學(xué)和現(xiàn)代工業(yè)中的地位非常重要。
1.電子工業(yè)被用作氮化硅和外延材料的混合源。半導(dǎo)體超純硅原料是半導(dǎo)體工業(yè)中化學(xué)氣
相沉積工藝的硅源，如單晶硅、多晶硅外延片、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃等。廣泛應(yīng)
用于太陽能電池、硅復(fù)印鼓、光電傳感器、光纖和特殊玻璃的生產(chǎn)和開發(fā)。
2. 用于電子工業(yè)中多晶硅和單晶硅的外延積累，二氧化硅的低溫化學(xué)氣相沉積，非晶硅膜
的積累。
武漢紐瑞德特種氣體有限公司是一家專業(yè)的氣體公司，主要從事電子特種氣體的生產(chǎn)和銷
售。公司生產(chǎn)的硅烷得到了業(yè)界的廣泛認(rèn)可，生產(chǎn)達(dá)到了國內(nèi)先進(jìn)水平。武漢紐瑞德依托
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