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電子級(jí)氣體污染控制要求日趨嚴(yán)格，您了解嗎？


電子級(jí)氣體污染控制要求日趨嚴(yán)格，您了解嗎？


隨著消費(fèi)電子產(chǎn)品的升級(jí)，產(chǎn)品的制造規(guī)模越來越大，產(chǎn)品成
品率和故障控制越來越嚴(yán)格。整個(gè)電子工業(yè)對(duì)電子氣源的純度
和消除傳輸系統(tǒng)中的二次污染的要求越來越嚴(yán)格。
原則上，行業(yè)提出的電子氣體污染和顆粒尺寸的技術(shù)指標(biāo)與分
析設(shè)備技術(shù)進(jìn)步導(dǎo)致的檢測限（LDL）直接相關(guān)。例如，傳統(tǒng)
的激光顆粒測試儀可以測量0.1μm，而核心凝固技術(shù)（CNC）
可以達(dá)到0.01μm。
目前，12英寸超大規(guī)模集成電路生產(chǎn)線的寬度已發(fā)展到45nm
。散裝氣體的純度必須在ppt水平，粒度控制直接參考CNC分
析儀的下限。實(shí)驗(yàn)室的超亮LED技術(shù)指標(biāo)已超過200Lm/w（
流明/瓦），氫氣和氨氣的純度控制要求低于1 ppb（十億分
之一）。氨是通過多級(jí)蒸餾生產(chǎn)的，技術(shù)指標(biāo)達(dá)到7N（七個(gè)
9）的“白氨”，5N的氫必須通過先進(jìn)的鈀膜清潔器凈化至9N。

散裝特殊氣體系統(tǒng)（BSGS）的及時(shí)應(yīng)用有助于改善污染控
制。首先，大型包裝容器確保了電子氣體質(zhì)量的連續(xù)性，并
減少了多次灌裝污染的風(fēng)險(xiǎn)。此外，瓶子更換頻率的降低也
降低了污染的可能性。BSGS通常采用深度沖洗，提高了沖
洗效果。
316L不銹鋼電拋光（EP）管、高純度壓力控制閥、隔膜閥
和高精度過濾器（＜0.003）廣泛用于輸送管道系統(tǒng)μm VCR
堵頭等。與氣體接觸的管道部件的表面粗糙度可控制在5uin，
并采用零死區(qū)設(shè)計(jì)。施工工藝采用全自動(dòng)軌道焊接，制定并
實(shí)施嚴(yán)格的超高純度設(shè)計(jì)和QA/QC保證程序。
電子氣體傳輸系統(tǒng)完成后，必須進(jìn)行嚴(yán)格的壓力保持、氦氣
泄漏檢測、粒度和濕度、氧氣含量和其他氣相雜質(zhì)測試。


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