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如何做好超高純氮氣的存儲


如何做好超高純氮氣的存儲


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超高純氮氣等超高純氣體一般用在集成電路、半導(dǎo)體和電真空器件制造中
用作保護氣和運載氣，化學(xué)氣相淀積時的載氣，液體擴散源的攜帶氣，在
高溫擴散爐中用作器件的保護氣。

超高純氮氣在外延、光刻、清洗和蒸發(fā)等工序中，作為置換、干燥、貯存
和輸送用氣體。顯像管制造中要求氮氣純度為99.99%以上。在航天技術(shù)中，
液氫加注系統(tǒng)必須先用超高純氮氣置換，再用超高純氮氣置換。

對于超純氣體，任何微小的污染都會嚴重影響氣體的質(zhì)量，因此氣體貯存
和運輸過程中的潔凈和高度密封性特別重要。超純氣體主要采用高壓鋼瓶
或低溫液化氣體容器貯存和運輸。


高壓鋼瓶堅實耐用，運輸和使用靈活，氣體無損耗，但氣體純度穩(wěn)定性較
差；低溫液化氣體容器單位容積貯量很大，但有氣體排放損耗。

超高純氮氣的儲存是一項細致而嚴格的工作，需要多方面考慮，從選擇合
適的儲存器到嚴格監(jiān)控儲存過程中的各環(huán)節(jié)，全方位保障氮氣的純度和質(zhì)
量，從而確保其在集成電路、半導(dǎo)體和電真空器件制造領(lǐng)域的廣泛應(yīng)用。


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