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氙在電子芯片制造業(yè)中的最新應(yīng)用


氙在電子芯片制造業(yè)中的最新應(yīng)用


高純氙氣

氙氣的最新使用發(fā)生在電子芯片制造業(yè)，這也是氙需求增長的主要原因。幾家大型芯片制造商使用氙等
離子體蝕刻，主要用于制造微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）。MEMS器件可以將微電子和微機(jī)械集成為一個整體，
從而能夠在單個芯片上生產(chǎn)更復(fù)雜、更高效的電路。這項技術(shù)將基本的計算機(jī)芯片（數(shù)據(jù)處理）和傳感
器（數(shù)據(jù)收集）結(jié)合為一個組件，可以大規(guī)模生產(chǎn)。這類芯片的潛在用途是無限的，一些半導(dǎo)體制造商
使用氙蝕刻工藝生產(chǎn)這種超級芯片。

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