氦氣是理想的泄漏檢測氣體
氦氣是理想的泄漏檢測氣體
氦泄漏檢測在半導體中的作用
為了防止半導體器件、集成電路和其他部件的表面性能因水蒸氣等雜質而惡化,有必要使用外殼密封。然而,由于各種原因,在管和外殼或探針的連接處通常會有肉眼難以識別的小孔。因此,在封裝部件之后,需要一些方法來檢測這些小孔的存在或不存在。氦泄漏檢測包括使用氦來檢查電子元件封裝管殼中的小孔。由于氦原子的體積很小,它們很容易穿過管殼上的小孔。這種檢測方法可以檢測漏氣率約為10-11至10-12cm3/sec的小孔,其靈敏度可以與放射性泄漏檢測方法相媲美,但比放射性泄漏檢測法更簡單。氦氣泄漏檢測測試方法:首先,將封裝好的部件放入充氦容器中,加壓,使氦氣通過小孔進入管殼;然后提取出來,用壓縮空氣吹出管殼表面殘留的氦氣;然后,使用質譜儀來檢測氦泄漏到管殼外部。
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