六氟化硫-半導(dǎo)體工業(yè)中作清洗氣體
六氟化硫主要用于斷路器、變壓器等電器設(shè)備。
六氟化硫的運用可以添加設(shè)備運行的安全性、縮小設(shè)備體積、延長設(shè)備壽命。近幾年,國家大力開展基礎(chǔ)電力行業(yè),給六氟化硫廠家?guī)砹撕艽蟮氖袌鰴C遇。
估計今明兩年國內(nèi)六氟化硫需求達到峰值4000~4500噸,2008~2010將穩(wěn)定在4000噸左右。
高純六氟化硫(純度在99.99%以上),國內(nèi)需求十分旺盛,并且附加值較高。
高純六氟化硫主要用于半導(dǎo)體工業(yè)中作清洗氣體。
六氟化硫的本錢只要NF3的幾分之一,近年來,各公司以廉價的SF6取代以往CVD工藝中作為清洗氣體的NF3的新技術(shù)正被廣泛研究。
該技術(shù)在大幅下降液晶產(chǎn)品加工中占相當(dāng)比例的CVD氣體本錢的同時,還顯現(xiàn)出了極佳的環(huán)保遠景,近年來用量有顯著的進步。
據(jù)權(quán)威機構(gòu)預(yù)測,2010年我國將成為僅次于美國的世界第二大集成電路市場,總需求量約為500億美元。目前國內(nèi)運用高純六氟化硫作為蝕刻氣的生產(chǎn)線約有50條左右估計。2016年將達到700噸左右,
國內(nèi)運用六氟化硫作為蝕刻氣的生產(chǎn)線有近50條,在未來的五年估計將有20條至30條新線建成。每年約消耗高純六氟化硫為600噸左右。而國內(nèi)高純六氟化硫產(chǎn)品遠遠不能滿意市場需求,半導(dǎo)體廠家所用高純產(chǎn)品大部分依賴進口,這給高純六氟化企業(yè)提供更多的開展機遇。
紐瑞德全向全國供應(yīng)各種純度、各種規(guī)格的六氟化硫氣體,品質(zhì)保證,安全送貨上門。
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