氬氣和氦氣同為空氣中的惰性氣體，正�？諝庵械臍鍤夥謿鈮篜Ar0為946Pa，氦氣分氣壓PHe0為0.533Pa，PAr0是PHe0的1775倍。

在積累氦質(zhì)譜粗漏細(xì)漏組合檢測(cè)中，以氬氣為粗漏示蹤氣體，比以氦氣為粗漏示蹤氣體，具有更高的靈敏度。

采用Pernicka 700H CHLD、配以不同的檢測(cè)室和Inficon德國公司Rudi Widt先生自制的氬氣標(biāo)準(zhǔn)漏孔，進(jìn)行的測(cè)試表明，在測(cè)試的氬氣不合理的經(jīng)過深冷泵、氬的吸收使積累曲線呈下降狀，因此有一定偏差的情況下，Pernicka 700H CHLD仍能基本準(zhǔn)確地測(cè)試3.0×10-2Pa·cm3/s和2.0×10-3Pa·cm3/s的氬氣漏率。

粗漏氬氣測(cè)量漏率判據(jù)（4）

式中，P0為標(biāo)準(zhǔn)大氣壓，P0=1.013×105Pa；MA為以克表示的平均空氣摩爾質(zhì)量，MA=28.96g。

綜合不同檢測(cè)室的穩(wěn)定氬氣漏率本底和不同樣品的穩(wěn)定吸附氦漏率，從小內(nèi)腔容積被檢件開始，可對(duì)應(yīng)粗漏可檢等效標(biāo)準(zhǔn)漏率L0為0.1Pa·cm3/s、0.3Pa·cm3/s和1.0Pa·cm3/s，分別取粗漏氬氣測(cè)量漏率判據(jù)RAr0max為7.95×10-4Pa·cm3/s、2.39×10-3Pa·cm3/s和7.95×10-3Pa·cm3/s。

這時(shí)，粗漏氬氣時(shí)間常數(shù)（5）

使初次檢測(cè)被檢件預(yù)充氣體中包含分氣壓為PAr0的氬氣，再次檢測(cè)壓氦的同時(shí)包含分氣壓為PAr0的氬氣，檢測(cè)前始終貯存在正�？諝庵校�粗漏檢測(cè)以氬氣為示蹤氣體，細(xì)漏檢測(cè)以氦氣為示蹤氣體，則可以充分地將粗漏和細(xì)漏分開，細(xì)漏檢測(cè)的氦氣測(cè)量漏率判據(jù)Rmax可以大于粗漏判據(jù)RAr0max所對(duì)應(yīng)的R0max；可以選取小于等于1.0 Pa·cm3/s的L0；同樣內(nèi)腔容積被檢件τAr0所對(duì)應(yīng)的τHe0不僅遠(yuǎn)大于以氦氣為粗漏細(xì)漏示蹤氣體的積累氦質(zhì)譜組合檢測(cè)的τHe0，而且可以大于以氟碳化合物氣泡法進(jìn)行粗檢漏（L0=1.0Pa·cm3/s）的氦質(zhì)譜細(xì)檢漏的τHe0，可以成數(shù)量級(jí)或成倍地加大定量確定的最長(zhǎng)候檢時(shí)間；有更充裕的時(shí)間去除被檢件的表面吸附氦，從而允許采用更嚴(yán)的細(xì)漏測(cè)量漏率判據(jù)Rmax；為減少粗漏漏檢，若取t4max=0.1τAr0，同樣的儀器可適用更寬的τHemin和V范圍。

基于以上理由，作者申請(qǐng)了發(fā)明專利《一種以氬氣為粗漏示蹤氣體的積累氦質(zhì)譜組合檢測(cè)方法》。