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高純SF6氣體的應(yīng)用



  高純六氟化硫(SF6。)在常溫常壓下呈氣態(tài)，裝瓶后為高壓液體。無色、無臭、無毒、不燃。具有良好的化學(xué)穩(wěn)定性和熱穩(wěn)定性。

  近年來,高純SF6氣體在許多生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域中,越來越顯示出它的重要性。

  高純SF6氣體是我國科研、生產(chǎn)等許多部門急需的特種氣休,在半導(dǎo)體工業(yè)巾用于等離子蝕刻工藝,在光導(dǎo)纖維制造中用作隔離層摻雜劑。高純SF6氣體還是重要的激光材料,在其它領(lǐng)域也有重要用途。

高純SF6氣體

  在TFT-LCD面板廠及其他微電子行業(yè)，高純SF6氣體常用作清潔氣體和蝕刻氣體，在光導(dǎo)纖維的生產(chǎn)過程中，也常用六氟化硫作為單膜光纖隔離層摻雜劑。
高純氧化鋁能顯著提高PTFE耐高溫絕緣性能。

  復(fù)合PTFE相對介電常數(shù)隨溫度的升高而減小，隨填料的增加而增大。在相同添加量的情況下，加入BN的復(fù)合PTFE相對介電常數(shù)最小，其次是高純氧化鋁（Al2O3）,加入MoS2的復(fù)合PTFE相對介電常數(shù)最大。

  高純氧化鋁能有效提高PTFE的耐電弧燒蝕性能。

  添加無機填料能有效的提高噴口材料耐電弧燒蝕性能。當(dāng)填料種類不同時，復(fù)合PTFE的電弧燒蝕量依次為：

  復(fù)合MoS2的PTFE燒蝕量>復(fù)合三氧化二鋁的PTFE燒蝕量>復(fù)合BN的PTFE燒蝕量。

  高純氧化鋁的粒徑范圍是在5-10um，純度為99.9999%為最佳。

  高純氧化鋁還能提高PTFE的耐高溫性能，耐磨性能。

  2010年我國將成為僅次于美國的世界第二大集成電路市場，目前國內(nèi)使用高純六氟化硫作為蝕刻氣的生產(chǎn)線約有50條左右。

  在未來的五年預(yù)計將有20條至30條新線建成。每年約消耗高純六氟化硫為600噸左右。而國內(nèi)高純六氟化硫產(chǎn)品遠遠不能滿足市場需求，半導(dǎo)體廠家所用高純產(chǎn)品大部分依賴進口，這給六氟化硫氣體企業(yè)提供更多的發(fā)展機遇。




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