硅烷/氮氣混合氣（SiH4/N2)有何用途？

    硅烷（SiH4）：有毒。硅烷在半導(dǎo)體工業(yè)中主要用于制作高純多晶硅、通過氣相淀積制作二氧化硅薄膜、氮化硅薄膜、多晶硅隔離層、多晶硅歐姆接觸層和異質(zhì)或同質(zhì)硅外延生長原料、以及離子注入源和激光介質(zhì)等，還可用于制作太陽能電池、光導(dǎo)纖維和光電傳感器等。

    硅烷在氬氣中含2%、氮氣中含2.5%、氫氣中含1%時，它仍能著火。硅烷濃度在小于1%時不燃，大于3%時自燃，1%～3%時可能燃燒。硅烷是強還原劑，與重金屬鹵化物激烈反應(yīng)，與氯、溴發(fā)生爆炸性反應(yīng)，與四氯化碳激烈反應(yīng)。因此對硅烷不能使用氟里昂滅火劑。硅烷不溶于乙醇、乙醚、苯、氯仿和四氯化硅。不與潤滑油、脂肪反應(yīng)。對幾乎所有的金屬無腐蝕性。有時，玻璃中的堿成分也能分解硅烷。溶解在二硫化碳中的硅烷遇到空氣也可發(fā)生爆炸。
    硅烷是一種無色、與空氣反應(yīng)并會引起窒息的氣體。該氣體通常與空氣接觸會引起燃燒并放出很濃的白色的無定型二氧化硅煙霧。它對健康的首要危害是它自燃的火焰會引起嚴重的熱灼傷，如果嚴重甚至會致命。如果火焰或高溫作用在硅烷鋼瓶的某一部分會使鋼瓶在安全閥啟動之前爆炸。如果泄放硅烷時壓力過高或速度過快會引起滯后性的爆炸。泄漏的硅烷如沒有自燃會非常危險，不要靠近。處理緊急情況的人員必須要有個人防護設(shè)備和適應(yīng)當時情況的防火保護。不要試圖在切斷氣源之前滅火。
    硅烷氣是太陽能電池生產(chǎn)過程中不可或缺的材料，因為它是將硅分子附著于電池表面的最有效方式。在高于400℃的環(huán)境下，硅烷氣分解成氣態(tài)硅和氫氣。氫氣燃燒后，剩下的就是純硅了。此外，硅烷氣可以說是無處不在。除了光伏產(chǎn)業(yè)外，還有很多制造工廠需要用到硅烷氣，如平板顯示器、半導(dǎo)體、甚至鍍膜玻璃生產(chǎn)廠。
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