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氨氣、硅烷及笑氣在電子行業(yè)的重要性


氨氣、硅烷及笑氣在電子行業(yè)的重要性  

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電子氣體多為集中供應(yīng)，可分為氮?dú)�、氫氣、氬氣�?a href="http://m.kratomchamberofcommerce.com" title="" target="_blank" class="sitelink">氦氣、氧氣、二氧化碳等大宗氣
體；電子特種氣體包括笑氣、氨氣、硅烷、四氟化碳、六氟化硫、氯化氫、四氟環(huán)丁
烷、甲烷等氣體。

電子氣體是電子工業(yè)生產(chǎn)中不可缺少的原材料，如超大型集成電路、平面顯示器件、
化合物半導(dǎo)體器件、太陽能電池、光纖等。廣泛應(yīng)用于薄膜、蝕刻、摻雜、氣相沉積
、擴(kuò)散等工藝。隨著我國(guó)超大型集成電路、平板電腦、光伏發(fā)電等行業(yè)的快速發(fā)展，
電子氣體市場(chǎng)需求顯著增加。

一、什么是電子氣體？

1、電子氣體的含義：氣體工業(yè)術(shù)語，半導(dǎo)體工業(yè)用氣體統(tǒng)稱為電子氣體。

2、電子氣體分類：根據(jù)其類別，可分為純氣體、高純氣體和半導(dǎo)體特殊材料氣體。
特殊材料氣體主要用于外延、摻雜和蝕刻過程；高純氣體主要用于稀釋氣體和載體
氣體。電子氣體是特殊氣體的重要分支。電子氣體根據(jù)純度等級(jí)和使用場(chǎng)合可分為
電子等級(jí)，LSI(大型集成電路)級(jí)，VLSI(超大型集成電路)級(jí)和ULSI級(jí)(超大型集成
電路)級(jí)。

二、列舉電子氣體的應(yīng)用

1、電子氣體系統(tǒng)技術(shù)的應(yīng)用

在目前工藝先進(jìn)的超大型集成電路廠的晶圓片制造過程中，所有的工藝步驟都超過了
通道，使用了大約不同種類的電子氣體。電子氣體輸送系統(tǒng)是指在充分保證工藝和產(chǎn)
品安全使用的前提下，穩(wěn)定地將電子氣體從氣源輸送到工藝生產(chǎn)設(shè)備的氣點(diǎn)，無二次
污染，控制工藝所需的流量和壓力。根據(jù)氣體的性質(zhì)和供應(yīng)包裝的不同。

2、氨在電子工業(yè)中的應(yīng)用

氨是一種由氮和氫組成的化合物。它是一種具有特殊刺鼻氣味的無色水溶性氣體。大
多數(shù)氨是用來生產(chǎn)肥料的，也是幾乎所有含氮化合物的前身。高純度特殊氣體在LED
生產(chǎn)中起著至關(guān)重要的作用。超純氨是用來確保生產(chǎn)最高質(zhì)量的LED元件。這是因?yàn)?br />氧氣含有水蒸氣分子，即使是微量的，也能大大降低光能輸出。

3、硅烷的應(yīng)用

硅烷、硅和氫化合物易于自燃和爆炸，是一種高風(fēng)險(xiǎn)氣體。目前廣泛應(yīng)用于微電子和
光電子行業(yè)，用于制造太陽能電池、平板顯示器、玻璃和鋼涂料。此外，還用于制造
先進(jìn)陶瓷、復(fù)合材料、功能材料、生物材料、高能材料等高科技應(yīng)用。

4、笑氣在電子行業(yè)的應(yīng)用

笑氣，即一氧化二氮和無色甜氣，是一種氧化劑，廣泛應(yīng)用于電子工業(yè)和食品飲料，
甚至在一些電子產(chǎn)品的開發(fā)中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。為了實(shí)現(xiàn)電視、手機(jī)和電腦顯
示屏的更高分辨率和幀速率，笑氣在下一代超高清3DTFT-LCD低成本開發(fā)（薄膜晶體
管液晶）顯示屏和OLED（發(fā)光二極管）顯示屏中非常重要。
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