一切以氣體或蒸氣作為激光工作物質(zhì)的激光器，統(tǒng)稱為氣體激光器。這是目前種類最多、發(fā)展最快、應(yīng)用最廣的一類激
光器。通常可以把氣體激光器劃分為原于氣體激光器、離子氣體激光器、分子激光器和準(zhǔn)分子激光器。氣體激光器的激勵(lì)方式很多，
通常采用氣體放電激勵(lì)，此外還可采用電子束激勵(lì)、氣動(dòng)式激勵(lì)、化學(xué)激勵(lì)、光激勵(lì)和核動(dòng)激勵(lì)等。氣體激光器與液體激光器、固體
激光器和半導(dǎo)體激光器一樣，已經(jīng)實(shí)現(xiàn)了實(shí)用化。它已廣泛用于工農(nóng)業(yè)生產(chǎn)、科學(xué)研究、國防建設(shè)和醫(yī)療衛(wèi)生等領(lǐng)域。氣體激光器的
重要特點(diǎn)之一，激光工作物質(zhì)是混合氣或單一純氣體。由于激光混合氣中組分氣的純度直接影響激光的性能，特別是氣體中氧、水、
碳?xì)浠衔锏入s質(zhì)的存在，將導(dǎo)致激光輸出功率在鏡(面)和電極上的耗損，還會(huì)引起激光發(fā)射的不穩(wěn)定。因此，對(duì)激光混合氣組分的
純度有著特殊要求，包裝混合氣的鋼瓶，充裝前也必須進(jìn)行干燥處理，防止污染混合氣。如果將氦(He)-氖(Ne)激光作為第一代氣體激光，二氧化碳激光是第二代氣體激光，在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域?qū)⒋罅渴褂玫姆?KrF)激光，可稱為第三代激光。 表－激光混合氣， 列出常見的氦氖激光混合氣、二氧化碳激光混合氣、氪氟激光混合氣、密封束激光混合氣和準(zhǔn)分子激光混合氣的組成和具體用途。
