六氟化硫電氣設備中的氣體監(jiān)測如果六氟化硫電氣設備本身是合格的，那么，運行的安全可靠性，在很大程度上將取決于安裝和調試質量，以及怎樣對六氟化硫絕緣性能進行合理的監(jiān)督檢查。六氟化硫氣體到貨后通過質量檢驗可以保證貨源質量水分含量不超過規(guī)定標準。但灌氣后，如果設備組裝條件不夠完善，則機器壁上附著的水分，設備的固體絕緣及澆注物中間的水分，以及由于密封效果、填料不同透過的水分，經過一段時間運行后，它們可能釋放出來，使得六氟化硫設備的含水量出現(xiàn)變化。因此，針對實際情況，必須對六氟化硫設備中氣體的質量進行監(jiān)測。檢驗周期時間是：灌裝后至投運前的一次總體檢驗，重點檢驗空氣、水分和雜質含量；運行后以三個月為周期的含水量檢驗，一般應連續(xù)進行三次周期性檢驗；經過檢驗證明，六氟化硫氣體無變化，運行已經穩(wěn)定之后，則應轉為以年為周期的含水量檢測。當檢驗出氣體成分有明顯變化時，往往是質量和運行問題的反應，應按規(guī)定進行報告，必要時請專家診斷、鑒定或進行有關質量復核。
六氟化硫設備的通風裝置要求為了防止正?；虍惓Ｇ闆r下泄漏的六氟化硫氣體對電氣工作人員的損害，要求：六氟化硫配電裝置室應有強力通風裝置，所裝設的通風裝置應有足夠大的抽取力量，能達到強力換氣效果；六氟化硫氣體比重大，因此，通風裝置的風口全部設置在各室貼近地面處，以使得六氟化硫氣體及其分解氣體得到快速排出。